Procédé LIGA

Le LIGA-Process, ou procédé LIGA est un procédé utilisé pour la fabrication de microsystèmes, développé vers la fin des années 70 au Kernforschungszentrum Karlsruhe.



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  • le polysilicium est utilisé comme matériau pour la microstructure... épaisseur d'oxyde enterrée de 0, 5 µm pour une épaisseur totale du substrat de ... Exemple de procédé LIGA. 4. Séparation des structures ou moulage d'un autre matériau... (source : uuu.enseirb)
  • LIGA : un procédé de fabrication de micro-objets de haute précision... obtient une gravure sur toute l'épaisseur de la résine.... procédés de micro- fabrication : • Les microstructures obtenues ont des parois... (source : synchrotron-soleil)

Le LIGA-Process, ou procédé LIGA est un procédé utilisé pour la fabrication de microsystèmes, développé vers la fin des années 70 au Kernforschungszentrum Karlsruhe (KfK) . Ce procédé a initialement été développé dans le cadre de travaux sur la séparation des isotopes de l'uranium.

Le sigle "LIGA" provient de l'allemand. C'est une abréviation pour "Röntgenlithographie, Galvanoformung, Abformung", qui représentent les différentes étapes de ce procédé :

Ce procédé sert à fabriquer des microstructures assez épaisses (jusqu'à 1 mm d'épaisseur) en petite et moyenne série.

Il peut être exploité non seulement avec le silicium mais également et en particulier avec nombre de matériaux pour réaliser des microstructures 3D tels des métaux, des céramiques, mais également des verres et des polymères ce qui élargit énormément le champ d'application des MEMS. Dans ce procédé le matériau constitutif de la microstructure va être déposé seulement sur les zones où elle sera bâtie. Par la suite le moule est dissous chimiquement. Des polyimides photosensibles sont utilisés pour la réalisation des moules selon un procédé photolithographique classique (mais inversé puisque le polyimide joue le rôle d'un photoresist négatif).

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