Microsystème opto-électro-mécanique

Les microsystèmes opto-électro-mécaniques forment un sous-ensemble des dispositifs micro-électro-mécaniques. Les MŒMS sont capables de capter ou de manipuler des signaux optiques à une échelle particulièrement petite, utilisant des dispositifs...



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Les microsystèmes opto-électro-mécaniques (ou MŒMS, sigle de l'anglais Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems) forment un sous-ensemble des dispositifs micro-électro-mécaniques (MEMS, Micro-Electro-Mechanical Systems). Les MŒMS sont capables de capter ou de manipuler des signaux optiques à une échelle particulièrement petite, utilisant des dispositifs mécaniques ou électriques intègres.

La technologie de fabrication des MŒMS par la technologie de microusinage usuelle en utilisant des matériaux comme silicium, silice (SiO2), nitrure de silicium et arséniure de gallium (GaAs).

Quelques exemples de MŒMS

Voir aussi

Bibliographie

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